VCSEL, e bitsoang Vertical Cavity Surface Emitting Laser ka botlalo, ke mofuta oa laser ea semiconductor.Hajoale, li-VCSEL tse ngata li ipapisitse le li-semiconductors tsa GaAs, 'me bophahamo ba maqhubu bo boholo haholo ho sehlopha sa maqhubu a infrared.
Ka 1977, Moprofesara Ika Kenichi oa Univesithi ea Thekenoloji ea Tokyo o ile a qala ka ho sisinya khopolo ea lesela le emeng le omeletseng holim'a metsi.Matsatsing a pele, o ne a batla ho fumana laser e le 'ngoe ea longitudinal mode semiconductor e nang le tlhahiso e tsitsitseng ka ho khutsufatsa bolelele ba cavity.Leha ho le joalo, ka lebaka la bolelele ba tsela e le 'ngoe ea moralo ona, ho bile thata ho fumana laser lasing, kahoo lipatlisiso tsa pele tsa VCSEL li ile tsa lelefatsoa.Lilemo tse peli hamorao, Moprofesa Yihe Jianyi o ile a atleha ho lemoha pulsed lasing ea GaInAsP series lasers ho 77 K a sebelisa liquid phase epitaxy technology (mokhoa oa epitaxy ea mokelikeli ho fokotsa lintho tse tiileng ho tsoa tharollo le ho li beha holim'a substrate ho hlahisa likaroloana tse tšesaane tsa kristale e le 'ngoe. ).Ka 1988, letoto la li-VCSEL tsa GaAs li ile tsa holisoa ke theknoloji ea organic chemical vapor deposition (OCVD) ho fihlela ts'ebetso e tsoelang pele mochesong oa kamore.Ka tsoelo-pele e sa khaotseng ea theknoloji ea epitaxial, mehaho ea DBR ea semiconductor e nang le ponahalo e phahameng e ka etsoa, e leng ho potlakisang mokhoa oa ho etsa lipatlisiso oa VCSEL.Qetellong ea lekholo la bo20 la lilemo, ka mor'a hore mekhatlo ea lipatlisiso e leke mekhoa e fapaneng, boemo bo ka sehloohong ba VCSEL e fokolang ea oxidation e ne e le ntle haholo.Ka mor'a moo e ile ea fallela sethaleng sa khōlo, moo ts'ebetso e neng e lula e ntlafatsoa le ho ntlafatsoa.
Sectional diagram of oxidation limited top emitting laser
Sebaka se sebetsang ke karolo ea bohlokoa ea sesebelisoa.Hobane sekoti sa VCSEL se khuts'oane haholo, sebaka se sebetsang ka har'a cavity se hloka ho fana ka matšeliso a eketsehileng bakeng sa mokhoa oa ho lasing.
Pele ho tsohle, maemo a mararo a tlameha ho finyelloa ka nako e le 'ngoe ho hlahisa laser:
1) kabo ea inversion ea carrier sebakeng se sebetsang e thehiloe;
2) sebaka se loketseng sa resonant se lumella hore mahlaseli a hlasimollang a fepeloe ka makhetlo a mangata ho etsa laser oscillation;le
3) ente ea hona joale e matla ka ho lekaneng ho etsa hore phaello ea optical e be kholo ho feta kapa e lekanang le kakaretso ea tahlehelo e sa tšoaneng le ho finyella maemo a itseng a morao-rao.
Maemo a mararo a mantlha a lumellana le mohopolo oa moralo oa sebopeho sa sesebelisoa sa VCSEL.Sebaka se sebetsang sa VCSEL se sebelisa sebopeho sa seliba sa quantum se tsitsitsoeng ho theha motheo oa ho lemoha kabo ea inversion ea ka hare ea carrier.Ka nako e ts'oanang, sekoti sa resonant se nang le reflectivity e loketseng se etselitsoe ho etsa hore photon e emitted e be le oscillation e tsitsitseng.Qetellong, ho fanoa ka ente e lekaneng ho thusa li-photon ho hlola tahlehelo e fapaneng ea sesebelisoa ka boeona ho theha nako e telele
Ke kamoo Shenzhen HDV Optoelectronic Technology Co., Ltd., k'hamphani ea puisano ea optical, e hlalositseng VCSEL.